Назначение: Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для измерения параметров техногенных объектов и живых систем.
Виды услуг:
- Разработка конструкций многокомпонентных МЭМС: гироскопов, акселерометров, датчиков давления, температуры и т.д. по техническим требованиям заказчика с использованием специализированныз программных продуктов.
- Разработка конструкций МЭМС, устойчивых к внутренним и внешним возмущающим факторам (удары, вибрации и температурные воздействия).
- Разработка лабораторных технологических регламентов изготовления МЭМС под оборудование заказчика.
- Контроль микромеханических структур после изготовления (контроль размеров и целостности структур).
- Температурно-вакуумные исследования характеристик МЭМС.
- Распайка кристаллов МЭМС в корпус.
